簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Analysis".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="即時監控模型"


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    利用半導體製程即時參數值建立缺陷特徵化監控模型
    • 管理研究所 /93/ 碩士
    • 研究生: 戴鴻恩 指導教授: 潘昭賢
    • 在半導體製造上需要對製程機台進行即時資料之趨勢監控外,需要更多能精確判斷製程與機台狀態的新製程偵測技術與方法,特別是在先進的12吋晶圓廠上。在半導體製程技術持續的微縮下,製程的飄移或缺陷通常不是單一…
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